8(800)350-90-48
zakaz.skidkosnab@gmail.com
С ПН по ПТ: с 9-00 до 18-00 (МСК)

Пост вакуумный универсальный ВУП-7

Фото поста вакуумного универсального ВУП-7
Средняя: 4.3 (4 оценки)
Цена: по запросу
Уточнить цену

Пост вакуумный универсальный ВУП-7 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.

Особенности

  • получает пленки металлов, сплавов, полупроводников, многокомпонентной керамики;
  • производит распыление с одного-двух магнетронов одновременно или последовательно;
  • позволяет комбинировать процессы распыления с различных физических источников без разгерметизации рабочего объема;
  • позволяет нагревать и стабилизировать температуру подложки;
  • позволяет вращать держатель подложки с заданной скоростью;
  • позволяет производить ионную очистку образца;
  • увеличенные габариты рабочего объема позволяют дополнительно размещать в нем несколько
  • физических источников и средств контроля за процессами напыления;
  • высокая скорость осаждения;
  • получение особо чистых пленок;
  • высокая адгезия пленок и подложки;
  • возможность изменения структуры и свойств пленок;
  • возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
  • низкая пористость пленок;
  • небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую поверхность;
  • высокая энергетическая эффективность процессов.
Технические характеристики
Параметры Значения
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
  • с диффузионным насосом и азотной ловушкой
  • с турбомолекулярным насосом
 2×10 -4
6×10 -4
Диаметр мишени магнетрона, mm 52
Блок питания DC:
  • напряжение, V
  • ток, mA
 1000
500
Блок питания RF:
  • частота, MHz
  • мощность, W
 13,56
500
Блок питания ЭЛИ:
  • напряжение, kV
  • ток, mA
  • ток накала, A
 4
200
20
Блок термического испарения:
  • ток, A
 200
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 - 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема, mm 400×400×400
Масса прибора, kg, не более 380
Габаритные размеры, mm
  • стойка аналитическая
  • стойка электрическая
 690×610×1620
635×610×1150
Электрическое питание, V 380 / 220
Потребляемая мощность, kVA 4,5
Варианты исполнения приборов ВУП-7 для поставки
Система откачки 01 02 03 04 05 06 07 08 09 10 11 12 13 14 15
Дифузионный насос, 220 V + + + + +                    
Турбомолекулярный насос, 220 V           + + + + +          
Турбомолекулярный насос, 115 V                     + + + + +
Устройства испарения 01 02 03 04 05 06 07 08 09 10 11 12 13 14 15
Магнетрон DC + + +     + + +     + + +    
Магнетрон RF + + + +   + + + +   + + + +  
Электронно-лучевой испаритель + +   + + + +   + + + +   + +
Термический испаритель +       + +       + +       +
Держатель подложек с нагревателем + + + + + + + + + + + + + + +
Ионная очистка объекта + +   + + + +   + + + +   + +

Доставка Пост вакуумный универсальный ВУП-7 по России осуществляется ТК:

  • Деловые Линии;
  • ПЭК;
  • ЖелДорЭкспедиция;
  • КИТ.

Сроки и стоимость доставки

Сроки доставки в Новосибирск – от 8 дней

  • Стоимость доставки до терминала транспортной компании - бесплатно
  • Возможна адресная доставка по городу Новосибирск (оговаривается и просчитывается индивидуально)

Оплата

  • Оплата наличными (физические лица, оплата на карту)
  • Оплата через интернет-банкинг (оплата по счёту)
  • Оплата заказа безналичным способом, предоплата, частичная оплата, постоплата (юридические лица, обсуждается с менеджером).

Гарантии на Пост вакуумный универсальный ВУП-7

  • Гарантия качества поставляемой продукции – товар проходит первичную поверку на заводе-изготовители. Имеется сертификат качества, если того требует действующее законодательство.
  • Выполнения обязательств по гарантийному случаю – обмен товара/возврат. Гарантийный случай считается, если Заказчик не нарушил порядок ввода в эксплуатации, указанной в инструкции, а также оборудование не должен иметь механических повреждений.

Бесплатную информацию о данном вопросе можете получить по телефону указанному выше.

Добавить комментарий